シィ・エィ・ティについてCompany
事業内容
TMP
（ターボ分子ポンプ）
TMPのオーバーホール、修理業務を実施しております。
当社では、半導体製造装置・蒸着装置・スパッタ装置・分析装置・エッチング装置・加速器・FPD製造装置等で使用されているターボ分子ポンプのオーバーホール・修理業務、ターボ分子ポンプコントローラーの修理業務を行っています。
また、一部の回転翼についても自社にて製作可能です。
作業内容
(オーバーホール・修理)
作業内容
(コントローラ修理)
?
ターボ分子ポンプとは
TMP（ターボ分子ポンプ）とは、固定された羽翼（ステータ）と回転する羽翼（ロータ）を交互に設けて回転させることで、 気体分子を一方向に移動させ高真空まで排気することができる真空ポンプのことです。
